概要

静电电容式位移计 ST-3512
●特长:高速响应

DC～40kHz（可选100kHz）

・最适用于金属・导体・半导体等的测量

・不受磁场和磁性体可以为任何金属相同的条件下进行测量。

・高分辨率2.5nm rms（10kHz時）

●特长:位移和输出电压的关系

ST-0535A5使用时的特性

●可选/span>

・各种探头

・频带扩大100kHz

●性能

（使用标准探头ST-0535A5时的性能）

测定方式		静电容方式
测量范围		50±25μm
输出电压		＋10V～－10V（F.S）
灵敏度		0.4V/μm
准确性		±1％F.S（23±5℃、80％R.H）
分辨率		2.5nm rms（10kHz）
频率带宽		DC～40kHz（－3dB）（但是可以切换成约10kHz、1kHz、100Hz）
输出阻抗		约50Ω
电源	电压	AC100V±10％ 50/60Hz
	耗电量	9W±20％（AC100V时）
使用温湿度范围		0～50℃、85％R.H以下
大小		约80W×170H×304L（mm）
重量		约2.8kg
付属品		同轴电缆（1）、电源线（1）、使用说明书（1）

规格

●探头通过性能表

直型	形　式		测量范围 [μm]	分辨率（BW=10kHz)[μm rms]	准确性 [%F.S]	探头电极直径 [mm]	探头尺寸图	探头线长度 [m]
	本　体	探头
	ST-3572	ST-0701A3	75±50	0.02	±2	Φ0.1	S-6	1.5
		ST-0702A2	100±50	0.006	±2	Φ0.2
		ST-0705G3	100±50	0.003	±2	Φ0.5	S-1
		ST-0705G4	150±100	0.006	±2
		ST-0705G5	400±250	0.03	±2
		ST-0710A	500±250	0.035	±2	Φ1.0	S-7	3.0
		ST-0710A2	750±500	0.08	±2
		ST-0717A	1500±1000	0.15	±2	Φ1.7	S-3
		ST-0755A	6000±2000	0.3	±2	Φ5.5	S-5
		ST-07130A	15000±5000	0.5	±2	Φ13	S-8

 

直型	形　式		测量范围 [μm]	分辨率（BW=10kHz)[μm rms]	准确性 [%F.S]	探头电极直径 [mm]	探头尺寸图	探头线长度 [m]
	本　体	探头
	ST-3512	ST-0538XG	50±25	0.005	±2	Φ0.5	S-1	1.5
		ST-0538XG2	75±50	0.008	±2
		ST-0535A5	50±25	0.0025	±1	Φ1.2	S-2
		ST-0535A6	100±50	0.004	±1
		ST-0533B2	100±50	0.003	±2	Φ1.7	S-3
		ST-0533B3	200±100	0.02	±2
		ST-0533B4	400±250	0.06	±2
		ST-0532A4	100±50	0.003	±1	Φ1.8	S-4
		ST-0532A5	200±100	0.02	±1
		ST-0532A6	400±250	0.06	±1
		ST-0541A2	1000±500	0.04	±1	Φ5.5	S-5

45°カットタイプ	形　式		测量范围 [μm]	分辨率（BW=10kHz)[μm rms]	准确性 [%F.S]	探头电极直径 [mm]	探头尺寸图	探头线长度 [m]
	本　体	探头
	ST-3512	ST-0538XH	50±25	0.005	±2	Φ0.5	C-1	1.5
		ST-0538XH2	75±50	0.008	±2
		ST-0533H2	100±50	0.003	±2	Φ1.7	C-2
		ST-0533H3	200±100	0.02	±2
		ST-0533H4	400±250	0.06	±2

・各探头の形状は下記をご覧ください。（探头ヘッド尺寸図Noをご参照ください）

●ST-3512用探头尺寸図

*ST-3512は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物（または技術）に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。