概要

静电电容式位移计 ST-3572
●特征:高速响应

DC～10kHz
由非常小的直径的探针，小目标的位移可以被测量。 （测量电极直径非常小直径的探头的Φ0.1mm）

・最适合如金属导体和半导体的测量

・不受磁场和磁性体，并且可以为所有的金属相同的条件下进行测量。

・对应的可能的范围广最大10mm

●特征:位移和输出电压的关系

ST-0705G4使用时的特性

●特征:性能

測定方式		静電容量方式
测量范围		150±100μm
输出电压		＋10V～－10V（F.S）
灵敏度		0.1V/μm
准确性		±2％F.S（23±5℃、80％R.H）
补偿功能		约±10％（F.S）
频率带宽		DC～10kHz（－3dB）（但是、约5kHz、2kHz、1kHz、100Hz可以切换）
输出阻抗		77Ω±20％
电源	电压	AC90V～250V 50/60Hz
	耗电量	60VA MAX
使用温湿度范围		0～40℃、85％R.H以下
大小		约80W×170H×320L（mm）
重量		约3kg
付属品		电源线（1）、保险丝（2）、同轴电缆（1）、地线（1）、使用说明书（1）
显示		显示超过范围

规格

●探头通过性能表

直型	形　式		测量范围 [μm]	分辨率（BW=10kHz)[μm rms]	准确性 [%F.S]	探头电极直径 [mm]	探头尺寸图	探头线长度 [m]
	本　体	探头
	ST-3572	ST-0701A3	75±50	0.02	±2	Φ0.1	S-6	1.5
		ST-0702A2	100±50	0.006	±2	Φ0.2
		ST-0705G3	100±50	0.003	±2	Φ0.5	S-1
		ST-0705G4	150±100	0.006	±2
		ST-0705G5	400±250	0.03	±2
		ST-0710A	500±250	0.035	±2	Φ1.0	S-7	3.0
		ST-0710A2	750±500	0.08	±2
		ST-0717A	1500±1000	0.15	±2	Φ1.7	S-3
		ST-0755A	6000±2000	0.3	±2	Φ5.5	S-5
		ST-07130A	15000±5000	0.5	±2	Φ13	S-8

 

45°カット型	形　式		测量范围 [μm]	分辨率（BW=10kHz)[μm rms]	准确性 [%F.S]	探头电极直径 [mm]	探头尺寸图	探头线长度 [m]
	本　体	探头
	ST-3572	ST-0702C2	100±50	0.006	±2	Φ0.2	C-3	1.5
		ST-0705M3	100±50	0.003	±2	Φ0.5	C-1
		ST-0705M4	150±100	0.006	±2
		ST-0705M5	400±250	0.03	±2
		ST-0710B	500±250	0.035	±2	Φ1.0	C-4	3.0
		ST-0710B2	750±500	0.08	±2
		ST-0717B	1500±1000	0.15	±2	Φ1.7	C-2

・各探头的形状请参考以下信息。（请按照序号参考探头尺寸图）

●ST-3572用探头尺寸図

*ST-3572は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物（または技術）に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必须です。