概要

静电电容式位移计 ST-3541
●特征:卓越的高安定性

下面是示例稳定性的测定在恒温浴设定为25℃。 超过12小时的长时间，能看到所得到的稳定测量。

●特征:实现了高分辨率

最高分辨率达到0.3nm-rms 下面的驱动器在台阶电信号的压电元件是位移的量度。 1nm的刻度信号也能良好地响应，确认。

・1nm刻度
阶段波形：频率0.15Hz 刻度宽度1nm。
频带设定：100Hz

●特征:卓越的直线性　0.05%

不需要线性，并且与使用的测量方法，实现了优良的线性度。

1)由于该附着的是不是一个内置电路与探针体更容易地与小的探针，我是鼓励显著小型化。
其结果是，内置于测量系统的自由度已经显著蔓延

2)当在专用连接线频道之间的同步能够使用多也，通过连接通道，现在可以同步操作。
同步操作，以防止信道之间的干扰，测量结果的新模型的稳定性。

3)为了降低成本。当使用多通道时，因为根据需要增设电源供给，构建系统时可以实现成本的降低。

●特征:可以在真空状态下测量

采用真空兼容的定制探头，允许位移测量真空。

●应用领域

，半导体，精密机械加工和显微镜精确定位，例如，位置检测，姿态控制

和振动等的压电元件中，宽度值测量

硅片金属板，平整度等精密零件加工，厚度测量

・摆动轴线，如精密电动机，轴向跳动，圆度测量

纳米位移测量