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HOME > 显微镜 > 真空应用仪器 [电子显微镜制样装置] > 电子显微镜制样设备 SC-708 Series


概要
采用了能对应大型样品制作的大径阴极
●特征・概要

                    
  • 作为充电防止大样本的SEM观察或分析的最佳离子涂布机
  • 根据观察/分析用样品,可以选择4'~8'的阴极
  • 对于SEM用大型样品的预处理,可以简单快速地执行。

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规格

阴极 φ4~8英寸 / 2 极对向电极
腐蚀电流 0~50mA (配电流计)
腐蚀电压 0.8 / 1.4kV
气体导入机构 针型阀
真空泵 直联式回转泵:100l/min(带自动泄漏)
腔体尺寸 内径φ240mm×D240mm(SUS制)
样品交换法 前门开关方式
样本尺寸 Max.φ4 ~8英寸
尺寸 (W/D/H) 本体:282/450/440mm
RP:460/175/265mm
重量 本体:约20kg
RP:23kg


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