概要

磁控阴极降低样品制备过程中的离子损耗
●特征・概要

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

• 采用了对样品有利的磁控阴极
• 高效率的溅射法，实现了即使在高放大倍率的SEM观察下也能承受的样品制作。
• 可以用扫描电镜对，同时控制膜厚的前处理装置来制样

规格

阴极	φ2 英寸DC磁控/2 极对向电极
目标	Au 包括目标
膜厚设定方式	预设的方式/数字显示屏，厚度监视器
气体导入机制	针型阀
真空泵	直联式回转泵：20L/分钟（带自动泄漏）
排气操作	自动
腔体尺寸	内径φ120mm×D120mm(SUS制)
样品交换法	前门开关方式
尺寸(W/D/H)	本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm
重量	本体:15kg RP:9kg