概要

全自动涂布机解消样品制备的繁琐
●特征・概要

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

• 电子显微镜的样品全自动很容易制成
• 通过预置方式，可以容易地控制（简易型）薄膜厚度。
• 因为预处理装置，所以操作简便，再现性高

规格

阴极	φ2 英寸/2极对向电极
溅射靶	Au 包括目标
蚀刻目标	Al 包括目标
膜厚设定方式	预设的方式/数字显示屏，厚度监视器
气体导入机制	针型阀
真空泵	直联式回转泵：20L/分钟（带自动泄漏）
排气操作	自动
腔体尺寸	内径φ120mm×D120mm(SUS制)
样品交换法	前门开关方式
尺寸(W/D/H)	本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm
重量	本体:15kg RP:9kg