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上海日启实业有限公司
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HOME > 显微镜 > 真空应用仪器 [电子显微镜制样装置] > 电子显微镜的制样装置，用于离子研磨装置 SVM-721
| 概要 |
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| 规格 |
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| 离子源 | 方式 | 冷阴极潘宁装置 | ||
| 加速电压 | 2?8kV（1kV step） | |||
| 光束电流 | 最大150μA | |||
| 光束径 | φ4mm | |||
| 光轴对齐 | 专用导轨夹具 | |||
| 铣削速度 | 最大 50nm/min (8kV/Si基板) | |||
| 工作气体 | Ar气体 (99.9%以上) 通过手动针阀 |
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| 腔体部分 | 内径φ160mm×深度140mm | |||
| 样本尺寸 | 最大φ50mm/t20.5mm 在埋入树脂的情况下 φ32mm/t17.5mm（使用专用支架 |
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| 样品台 | 高度 | 0?10mm可变（安装样品时需要调整） | ||
| 偏心量 | 最大±4mm（安装样品时需要调整） | |||
| 倾斜 | 0°/60°/80° 的3个档位 | |||
| 回转速度 | 大约15rpm（固定） | |||
| 真空泵 | TMP | 67L / sec(@N2) | ||
| RP | 20L / min | |||
| 设置 | 尺寸 | 本体 | 280(W)/320(D)/460(H)mm | |
| RP | 156(W)/296(D)/200(H)mm | |||
| 重量 | 本体 | 约30kg | ||
| RP | 约10kg | |||
| 需要 电源 |
单相100V 50/60Hz 10A 带GND的3极插头规格 |
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