概要

3联式或4联式电子枪，对应于多层沉积
●特征・概要 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

• 可以选择3联式或4联式的电子枪
• 放宽某些腔体尺寸，对于毫无问题地对应大型基板的蒸镀作业。
• 用加入了阻抗加热蒸镀功率，它可以支持多层蒸镀和厚膜蒸镀

规格

	SVC-700LEB/3G	SVC-700LEB/4G
蒸镀方式	电子束法
E-GUN	2kW 3联式	5kW 4联式
EB电源	-4kV×500mA (Max)	-10kV×500mA (Max)
阻抗加热蒸镀	可选
室间	φ400mm×D400mm (不锈钢制・円筒型)
真空泵	TMP：260l/sec(@N2)　RP：100l/min
极限压力	10-4 Pa台
压力测量	皮拉尼真空计/电离真空计
尺寸・重量	本体：W744/D595/H1371mm　约230kg(RP其他位置) 控制板：W570/D800/H1750mm　约115㎏ ※本体/控制板の高度和重量是根据结构变动的。
所需电源	单相100V　50/60Hz　5kVA	单相100V　50/60Hz　3kVA 三相200V　50/60Hz　10kVA

可选

束扫描

电阻加热源单元(蒸镀电源：SVC-7PS80必须)

基板加热装置(300℃/600℃/1000℃型)

基板旋转加热装置

基板冷却装置

基板旋转倾斜单元

石英振荡器型膜厚监控器

引入气体

外部引进终端