概要

电子束蒸发的标准模型
●特征・概要 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

• 标准型号台式类型
• 用加入了阻抗加热蒸镀功率，它可以支持多层蒸镀和厚膜蒸镀

规格

蒸镀方式	阻抗加热方式/电子束法
E-GUN	2kW 単GUN
EB電源	-4kV×500mA (Max)
抵抗加熱用蒸镀电源	12V45A/7V80A
抵抗加熱用電極	2組
钟罩	φ160mm×H225mm (玻璃制・带保护罩)
极限压力	10-4 Pa台
真空泵	DP：200l/sec　RP：20l/min TMP：67l/sec(@N2)　RP：20l/min　(可选)
压力测量	皮拉尼真空计/电离真空计(可选)
尺寸・重量	本体：　W600/D400/H950mm　约75kg(RP其他位置) 控制板：W570/D800/H1428mm　约115㎏ ※本体/控制板の高度和重量是根据结构变动的。
所需电源	单相100V　50/60Hz　5kVA

可选

束扫描

电阻加热源单元

基板加热装置(300℃/600℃型)

基板冷却装置

基板旋转倾斜单元

SUS钟罩

电离真空计

皮拉尼真空计

石英振荡器型膜厚监控器

引入气体

外部引进终端

※除以上内容，根据需求会增加选项。