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HOME > 显微镜 > 真空应用仪器[真空蒸镀装置] > 电子束型 SVC-700EB


概要
电子束蒸发的标准模型
●特征・概要                     
  • 标准型号台式类型
  • 用加入了阻抗加热蒸镀功率,它可以支持多层蒸镀和厚膜蒸镀

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规格

蒸镀方式 阻抗加热方式/电子束法
E-GUN 2kW 単GUN
EB電源 -4kV×500mA (Max)
抵抗加熱用蒸镀电源 12V45A/7V80A
抵抗加熱用電極 2組
钟罩 φ160mm×H225mm (玻璃制・带保护罩)
极限压力 10-4 Pa台
真空泵 DP:200l/sec RP:20l/min
TMP:67l/sec(@N2) RP:20l/min (可选)
压力测量 皮拉尼真空计/电离真空计(可选)
尺寸・重量

本体: W600/D400/H950mm 约75kg(RP其他位置)
控制板:W570/D800/H1428mm 约115㎏


※本体/控制板の高度和重量是根据结构变动的。
所需电源 单相100V 50/60Hz 5kVA
可选
  • 束扫描
  • 电阻加热源单元
  • 基板加热装置(300℃/600℃型)
  • 基板冷却装置
  • 基板旋转倾斜单元
  • SUS钟罩
  • 电离真空计
  • 皮拉尼真空计
  • 石英振荡器型膜厚监控器
  • 引入气体
  • 外部引进终端

  • ※除以上内容,根据需求会增加选项。


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