概要

传统的沉积设备：DP型
●特征・概要 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

• 真空沉积基本卡住的基本模式
• 包装的最小必须功能作为沉积装置
• DP型通过在阀门开关OPEN/CLOSE操作方便，
• 富的可选，保证了扩展性的丰富

●用途・适用例

贴电极膜的各种装置

反光膜的制作用途(用于铝蒸镀等)

用于样品制备的电子显微镜

用于生产碳支撑膜等

规格

蒸镀方式	阻抗加热方式
蒸镀电源	12V50A / 7V80A　(切換式)
蒸镀用电极	2組
排気系	DP: 200L/sec　RP: 20L/min TMP: 67L/sec(@N2)　RP: 20L/min (可选)
极限压力	10-4Pa 台
钟罩	内径φ160mm×H225mm (玻璃制・带保护罩属)
尺寸 (W/D/H)	600/400/800mm
重量	约 40kg
所需电源	单相100V 50/60Hz 10A (3P插头)
冷却水	2L/min　20℃±5℃　0.2MPa 　× 1系統

可选

电离真空计

皮拉尼真空计

石英振荡器型膜厚监控器

基板加热装置（300℃/600℃型）

基板冷却装置

基板旋转倾斜单元

闪光功率积碳

EB蒸镀装置（单枪）

有机物蒸镀用电源

φ160mm 不锈钢制钟罩

φ230mm 不锈钢制钟罩

引入气体ユニット

外部引进终端

液态氮陷阱(排气用)