概要

具有TMP功能的小型装置
●特征・概要 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

• 简单，容易操作
• “在必须的时候只有你所需要的”=真空沉积设备已考虑到即便是未来增强
• 可选的丰富使薄膜制造实验的范围更加广泛
• 通过专用可选，也支持有机物薄膜制备实验
• 可以向我们咨询安装在手套箱事宜
• 小巧的机身支持“个人实验腔”的概念！！

●用途・实用例

电极用途等各种金属材料的蒸镀

有机物蒸镀实验（必须选择专用)

手套箱内的Li等的蒸镀

真空実験

规格

蒸镀方式	阻抗加热方式
蒸镀电源	12V45A / 7V80A　(切換式)
蒸镀用电极	2組
排气系统	TMP: 67l/sec (@N2)　RP: 20l/min 带真空保持单元
极限压力	2×10‐4Pa
钟罩	内径φ160mm×H215mm (玻璃制・带保护罩属)
尺寸 (W/D/H)	SVC-700TMSG (真空排气装置): 340/460/577mm SVC-7PS80 (蒸镀用电源): 340/410/206mm
重量	SVC-700TMSG (真空排气装置): 约26kg SVC-7PS80 (蒸镀用电源): 约25kg
所需电源	单相100V　50/60Hz　15A　3P插头

可选

有机物用蒸镀电源

皮拉尼真空计

EB蒸镀装置(单枪)

石英振荡器型膜厚监控器

闪光功率积碳

大型玻璃钟罩 (φ230mm)

基板加热装置 (300 ℃ / 600 ℃)

SUS钟罩 (φ160mm / φ230mm)

基板旋转倾斜单元

引入气体

电离真空计

外部引进终端