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上海日启实业有限公司
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HOME > 显微镜 > 真空应用仪器[溅射装置] > 用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置 SC-708 Series
| 概要 |
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| 规格 |
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| 阴极 | φ4～8英寸 / 2极对向电极 |
| 溅射环电流 腐蚀电流 |
0～50mA (配电流计) |
| 溅射环电压 腐蚀电压 |
0.8 / 1.4kV |
| 气体导入机构 | 针型阀 |
| 真空泵 | 直连式回转泵:100l/min(具有自动泄漏) |
| 腔体尺寸 | 内径φ240mm×D240mm(不锈钢制) |
| 样品交换方法 | 前门开关式 |
| 样本尺寸 | Max.φ4 ～8英寸 |
| 尺寸 (W/D/H) | 本体:282/450/440mm RP:460/175/265mm |
| 重量 | 本体:约20kg RP:23kg |