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上海日启实业有限公司
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HOME > 显微镜 > 真空应用仪器[溅射装置] > 用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置 SC-701HMCⅡ
| 概要 |
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| 规格 |
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| 阴极 | φ2英寸 磁控阴极 |
| 快门机构 | 自动/手动操作 |
| 气体导入机构 | 针型阀 （自动/手动控制） |
| 真空泵 | 直连式回转泵:100l/min（具有自动泄漏） |
| 腔体尺寸 | 内径φ160mm×D160mm (不锈钢制) |
| 样品交换方法 | 前门开关式 |
| 尺寸 (W/D/H) | 本体:360/360/260mm RP:174/460/264mm |
| 重量 | 本体:20kg RP:23kg |