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规格

　

　

　

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上海日启实业有限公司

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HOME　>　显微镜　>　真空应用仪器[溅射装置]　>　用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置　SC-701MC

概要

只需要将样品放置，膜厚度可以设定全自动模式
●特征・概要　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

采用了降低离子损伤磁控管阴极
全自动排气→涂装→大气敞开
磁控阴极，有助于高品质的创造溅射薄膜
溅射薄膜的电极，可以很容易地涂

●用途・适用例

贴电极膜的各种装置

用于反光膜制作等等。

规格

阴极	φ2 英寸DC磁控/2极对向电极
目标	Au 附属目标
厚度设置方法	预设方式/带数字显示厚度监视器
气体导入机构	针型阀
真空泵	直连式回转泵:20l/min(具有自动泄漏)
排気操作	自動
腔体尺寸	内径φ120mm×D120mm(不锈钢制)
样品交换方法	前门开关式
尺寸(W/D/H)	本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm
重量	本体:15kg RP:9kg

　

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