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规格

　

　

　

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上海日启实业有限公司

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HOME　>　显微镜　>　真空应用仪器[溅射装置]　>　用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置　SC-701AT

概要

只需要将样品放置，膜厚度可以设定全自动溅射
●特征・概要　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

全自动排气→涂层（蚀刻）→大气敞开
超小型，膜的厚度可以简易控制（简易型）
操作简单，高重复性的全自动化溅射设备
涂料/蚀刻模式配备

●用途・使用例

各种设备的电极膜

反射薄膜制造应用等

规格

阴极	φ2 英寸/2极对向电极
溅射目标	Au 附属目标
エッチング目标	Al 附属目标
厚度设置方法	预设方式/带数字显示厚度监视器
气体导入机构	针型阀
真空泵	直连式回转泵:20l/min(具有自动泄漏)
排気操作	自動
腔体尺寸	内径φ120mm×D120mm(不锈钢制)
样品交换方法	前门开关式
尺寸(W/D/H)	本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm
重量	本体:15kg RP:9kg

　

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