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HOME　>　显微镜　>　真空应用仪器[溅射装置]　>　用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置　SC-701MkⅡ ADVANCE

概要

对应Ni、Cr、W、Ti、Al等宽的金属支持高规格的小型涂布机
●特征・概要　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

●用途・使用例

与各种设备的电极膜

反射薄膜制造应用等

规格

阴极	φ2英寸DC磁控/板型电极
可能的适用对象	Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
压力测量	皮拉尼真空计
压力控制	手动控制通过由针阀导入口径外径φ6mm一触式管接头
工艺气体	Ar气体
真空泵	直连式回转泵：　20L/min(具有自动泄漏)
腔体尺寸	内径φ90×D90mm　(不锈钢制)
样品交换方法	前门开关式
尺寸(W/D/H)	本体：160/450/290mm　RP：　295.5/156/199.5mm
重量	本体：9㎏　RP：9㎏