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HOME > 射频装置 > 一覧 > 射频功率源 H 系列 13.56/27.12/40.68/60.00MHz
(附带自动阻抗匹配箱)
■H 系列 13.56/27.12/40.68/60.00MHz
(附带自动阻抗匹配箱) |
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萨姆威公司的高频电源系列具有输出频率为13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 或 60.00MHz。而且对产品提供有各种输出功率电平。
H 系列具有可以手动或自动执行的阻抗匹配箱。我们设计开发的H系列精巧而低价位。根据您的需要可以另配箱体。
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T161-5513H |
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阻抗变换器 |
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■特性 |
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全固态 |
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13.56 / 27.12 / 40.68 / 60.00MHz |
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功率范围:300W to 15kW |
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CW / PULSE操作(内置PULSER) |
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配置阻抗变换器 |
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高稳定度 |
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小型，轻量 |
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低价格 |
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HA:强制通风冷却 |
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HW:水冷 |
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型号 |
T161-57##H |
T161-60##H |
T161-65##H |
T161-67##H |
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输出功率 |
500W |
1kW |
3kW |
5kW |
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频率 |
13.56MHz / 27.12MHz / 40.68MHz / 60.00MHz |
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## 符号 |
13: 13.56MHz / 27: 27.12MHz / 40: 40.68MHz / 60: 60.00MHz |
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频率稳定度 |
小于 ±0.05% |
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振荡 |
晶体振荡 |
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输出功率稳定度 |
小于 ±1% |
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谐波失真 |
小于 -40dB |
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输出阻抗 |
50Ω |
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监测信号 |
Pf监测信号 (0W 至输出功率 / 0V 至 +10V)
Pr监测信号 (0W 至反射功率 / 0V 至 +10V) |
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保护 |
反射保护
超载电压，超载电流
冷却系统异常
外部互锁 |
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输出接口 |
N |
HN |
LC |
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电源 |
AC187 至 230V 50/60Hz (3φ) |
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冷却 |
HA: 强制通风 HW: 水冷 (部分强制通风) |
尺寸 (mm) (W)
(H)
(D) |
480
149
550 |
480
199
550 |
480
399
550 |
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■冷却系统规格
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冷却水温度 |
低于 30℃ |
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冷却水流速 |
500W:3lit / 1kW:4lit / 3kW:6lit / Over 5kW:6lit x2 |
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冷却水压 |
低于 4kg/cm2 |
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连接冷却水龙头 |
3/8 英寸的PT螺钉 |
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■射频功率电源规格
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绝缘阻抗 |
大于 50MΩ (DC500V) |
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绝缘 |
AC1500V: 1 分 (50/60Hz) |
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环境温度 |
0 to 40℃ (不结霜) |
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■阻抗变换器规格 (例如)
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匹配范围 |
2.7 至 42Ω:标准(需要商定) |
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输出接口 |
铜棒(需要商定) |
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环境温度 |
0 to 40℃ (不结霜) |
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冷却水温度 |
小于 30℃ |
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冷却水流量 |
500W,1kW:1升 / 3kW:2升 / 5kW:3升 |
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冷却水压 |
小于 4kg/cm2 |
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■模式一览表
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模式 |
T161-5013H |
T161-5513H |
T161-5713H |
T161-6013H |
T161-6313H |
T161-6513H |
T161-6713H |
T161-7013H |
T161-7213H |
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输出功率 |
100W |
300W |
500W |
1kW |
2kW |
3kW |
5kW |
10kW |
15kW |
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频率 |
13.56MHz |
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模式 |
T161-5027H |
T161-5527H |
T161-5727H |
T161-6027H |
T161-6327H |
T161-6527H |
T161-6727H |
T161-7027H |
T161-7227H |
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输出功率 |
100W |
300W |
500W |
1kW |
2kW |
3kW |
5kW |
10kW |
15kW |
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频率 |
27.12MHz |
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模式 |
T161-5040H |
T161-5540H |
T161-5740H |
T161-6040H |
T161-6340H |
T161-6540H |
T161-6740H |
T161-7040H |
T161-7240H |
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输出功率 |
100W |
300W |
500W |
1kW |
2kW |
3kW |
5kW |
10kW |
15kW |
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频率 |
40.68MHz |
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模式 |
T161-5060H |
T161-5560H |
T161-5760H |
T161-6060H |
T161-6360H |
T161-6560H |
T161-6760H |
T161-7060H |
T161-7260H |
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输出功率 |
100W |
300W |
500W |
1kW |
2kW |
3kW |
5kW |
10kW |
15kW |
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频率 |
60.00MHz |
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