概要

静电电容式位移计 ST-3512
●特长:高速响应
 

DC～40kHz（可选100kHz）
 

・最适用于金属・导体・半导体等的测量

・不受磁场和磁性体可以为任何金属相同的条件下进行测量。

・高分辨率2.5nm rms（10kHz時）

 

 

●特长:位移和输出电压的关系

ST-0535A5使用时的特性

 

 

●可选/span>
 

・各种探头

・频带扩大100kHz

 

●性能

（使用标准探头ST-0535A5时的性能）

 

 

测定方式		静电容方式
测量范围		50±25μm
输出电压		＋10V～－10V（F.S）
灵敏度		0.4V/μm
准确性		±1％F.S（23±5℃、80％R.H）
分辨率		2.5nm rms（10kHz）
频率带宽		DC～40kHz（－3dB）（但是可以切换成约10kHz、1kHz、100Hz）
输出阻抗		约50Ω
电源	电压	AC100V±10％ 50/60Hz
	耗电量	9W±20％（AC100V时）
使用温湿度范围		0～50℃、85％R.H以下
大小		约80W×170H×304L（mm）
重量		约2.8kg
付属品		同轴电缆（1）、电源线（1）、使用说明书（1）

 

 

规格

●探头通过性能表

直型	形　式		测量范围 [μm]	分辨率（BW=10kHz)[μm rms]	准确性 [%F.S]	探头电极直径 [mm]	探头尺寸图	探头线长度 [m]
	本　体	探头
	ST-3572	ST-0701A3	75±50	0.02	±2	Φ0.1	S-6	1.5
		ST-0702A2	100±50	0.006	±2	Φ0.2
		ST-0705G3	100±50	0.003	±2	Φ0.5	S-1
		ST-0705G4	150±100	0.006	±2
		ST-0705G5	400±250	0.03	±2
		ST-0710A	500±250	0.035	±2	Φ1.0	S-7	3.0
		ST-0710A2	750±500	0.08	±2
		ST-0717A	1500±1000	0.15	±2	Φ1.7	S-3
		ST-0755A	6000±2000	0.3	±2	Φ5.5	S-5
		ST-07130A	15000±5000	0.5	±2	Φ13	S-8

  

直型	形　式		测量范围 [μm]	分辨率（BW=10kHz)[μm rms]	准确性 [%F.S]	探头电极直径 [mm]	探头尺寸图	探头线长度 [m]
	本　体	探头
	ST-3512	ST-0538XG	50±25	0.005	±2	Φ0.5	S-1	1.5
		ST-0538XG2	75±50	0.008	±2
		ST-0535A5	50±25	0.0025	±1	Φ1.2	S-2
		ST-0535A6	100±50	0.004	±1
		ST-0533B2	100±50	0.003	±2	Φ1.7	S-3
		ST-0533B3	200±100	0.02	±2
		ST-0533B4	400±250	0.06	±2
		ST-0532A4	100±50	0.003	±1	Φ1.8	S-4
		ST-0532A5	200±100	0.02	±1
		ST-0532A6	400±250	0.06	±1
		ST-0541A2	1000±500	0.04	±1	Φ5.5	S-5

 

 

45°切割型	形　式		测量范围 [μm]	分辨率（BW=10kHz)[μm rms]	准确性 [%F.S]	探头电极直径 [mm]	探头尺寸图	探头线长度 [m]
	本　体	探头
	ST-3512	ST-0538XH	50±25	0.005	±2	Φ0.5	C-1	1.5
		ST-0538XH2	75±50	0.008	±2
		ST-0533H2	100±50	0.003	±2	Φ1.7	C-2
		ST-0533H3	200±100	0.02	±2
		ST-0533H4	400±250	0.06	±2

 

・请参考以下各种探头的形状い。（请参照探头的尺寸图）

 

 

●ST-3512用探头尺寸図

 

 

 
 

*ST-3512根据对外管理法及海外国际贸易法的规定如果是规制货物或者技术的情况下，必需得到日本政府的许可才可以出口。