静电电容式位移计 ST-3541
检测仪器
概要 |
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静电电容式位移计 ST-3541
●特征:卓越的高安定性
下面是示例稳定性的测定在恒温浴设定为25℃。 超过12小时的长时间,能看到所得到的稳定测量。
●特征:实现了高分辨率
最高分辨率达到0.3nm-rms 下面的驱动器在台阶电信号的压电元件是位移的量度。 1nm的刻度信号也能良好地响应,确认。
・1nm刻度
阶段波形:频率0.15Hz 刻度宽度1nm。
频带设定:100Hz
●特征:卓越的直线性 0.05%
不需要线性,并且与使用的测量方法,实现了优良的线性度。
1)由于该附着的是不是一个内置电路与探针体更容易地与小的探针,我是鼓励显著小型化。
其结果是,内置于测量系统的自由度已经显著蔓延
2)当在专用连接线频道之间的同步能够使用多也,通过连接通道,现在可以同步操作。
同步操作,以防止信道之间的干扰,测量结果的新模型的稳定性。
3)为了降低成本。当使用多通道时,因为根据需要增设电源供给,构建系统时可以实现成本的降低。
●特征:可以在真空状态下测量
采用真空兼容的定制探头,允许位移测量真空。
●应用领域
,半导体,精密机械加工和显微镜精确定位,例如,位置检测,姿态控制
和振动等的压电元件中,宽度值测量
硅片金属板,平整度等精密零件加工,厚度测量
・摆动轴线,如精密电动机,轴向跳动,圆度测量
纳米位移测量