电子显微镜制样设备 SC-708 Series
显微镜
概要 |
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采用了能对应大型样品制作的大径阴极
●特征・概要
- 作为充电防止大样本的SEM观察或分析的最佳离子涂布机
- 根据观察/分析用样品,可以选择4'~8'的阴极
- 对于SEM用大型样品的预处理,可以简单快速地执行。
规格 |
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阴极 | φ4~8英寸 / 2 极对向电极 |
腐蚀电流 | 0~50mA (配电流计) |
腐蚀电压 | 0.8 / 1.4kV |
气体导入机构 | 针型阀 |
真空泵 | 直联式回转泵:100l/min(带自动泄漏) |
腔体尺寸 | 内径φ240mm×D240mm(SUS制) |
样品交换法 | 前门开关方式 |
样本尺寸 | Max.φ4 ~8英寸 |
尺寸 (W/D/H) |
本体:282/450/440mm RP:460/175/265mm |
重量 |
本体:约20kg RP:23kg |