电子显微镜制样设备 SC-701MC
显微镜
| 概要 |
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磁控阴极降低样品制备过程中的离子损耗
●特征・概要
- 采用了对样品有利的磁控阴极
- 高效率的溅射法，实现了即使在高放大倍率的SEM观察下也能承受的样品制作。
- 可以用扫描电镜对，同时控制膜厚的前处理装置来制样
| 规格 |
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| 阴极 | φ2 英寸DC磁控/2 极对向电极 |
| 目标 | Au 包括目标 |
| 膜厚设定方式 | 预设的方式/数字显示屏，厚度监视器 |
| 气体导入机制 | 针型阀 |
| 真空泵 | 直联式回转泵：20L/分钟（带自动泄漏） |
| 排气操作 | 自动 |
| 腔体尺寸 | 内径φ120mm×D120mm(SUS制) |
| 样品交换法 | 前门开关方式 |
| 尺寸(W/D/H) |
本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 |
本体:15kg RP:9kg |
