电子显微镜制样设备 SC-701AT
显微镜
| 概要 |
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全自动涂布机解消样品制备的繁琐
●特征・概要
- 电子显微镜的样品全自动很容易制成
- 通过预置方式，可以容易地控制（简易型）薄膜厚度。
- 因为预处理装置，所以操作简便，再现性高
| 规格 |
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| 阴极 | φ2 英寸/2极对向电极 |
| 溅射靶 | Au 包括目标 |
| 蚀刻目标 | Al 包括目标 |
| 膜厚设定方式 | 预设的方式/数字显示屏，厚度监视器 |
| 气体导入机制 | 针型阀 |
| 真空泵 | 直联式回转泵：20L/分钟（带自动泄漏） |
| 排气操作 | 自动 |
| 腔体尺寸 | 内径φ120mm×D120mm(SUS制) |
| 样品交换法 | 前门开关方式 |
| 尺寸(W/D/H) |
本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 |
本体:15kg RP:9kg |
