电子束型 SVC-700LEB
显微镜
| 概要 |
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3联式或4联式电子枪，对应于多层沉积
●特征・概要
- 可以选择3联式或4联式的电子枪
- 放宽某些腔体尺寸，对于毫无问题地对应大型基板的蒸镀作业。
- 用加入了阻抗加热蒸镀功率，它可以支持多层蒸镀和厚膜蒸镀
| 规格 |
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| SVC-700LEB/3G | SVC-700LEB/4G | |
| 蒸镀方式 | 电子束法 | |
| E-GUN | 2kW 3联式 | 5kW 4联式 |
| EB电源 | -4kV×500mA (Max) | -10kV×500mA (Max) |
| 阻抗加热蒸镀 | 可选 | |
| 室间 | φ400mm×D400mm (不锈钢制・円筒型) | |
| 真空泵 | TMP：260l/sec(@N2) RP：100l/min | |
| 极限压力 | 10-4 Pa台 | |
| 压力测量 | 皮拉尼真空计/电离真空计 | |
| 尺寸・重量 |
本体：W744/D595/H1371mm 约230kg(RP其他位置) ※本体/控制板の高度和重量是根据结构变动的。 |
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| 所需电源 | 单相100V 50/60Hz 5kVA |
单相100V 50/60Hz 3kVA 三相200V 50/60Hz 10kVA |
可选
- 束扫描
- 电阻加热源单元(蒸镀电源：SVC-7PS80必须)
- 基板加热装置(300℃/600℃/1000℃型)
- 基板旋转加热装置
- 基板冷却装置
- 基板旋转倾斜单元
- 石英振荡器型膜厚监控器
- 引入气体
- 外部引进终端
