电子束型 SVC-700EB
显微镜
| 概要 |
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电子束蒸发的标准模型
●特征・概要
- 标准型号台式类型
- 用加入了阻抗加热蒸镀功率，它可以支持多层蒸镀和厚膜蒸镀
| 规格 |
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| 蒸镀方式 | 阻抗加热方式/电子束法 |
| E-GUN | 2kW 単GUN |
| EB電源 | -4kV×500mA (Max) |
| 抵抗加熱用蒸镀电源 | 12V45A/7V80A |
| 抵抗加熱用電極 | 2組 |
| 钟罩 | φ160mm×H225mm (玻璃制・带保护罩) |
| 极限压力 | 10-4 Pa台 |
| 真空泵 |
DP：200l/sec RP：20l/min TMP：67l/sec(@N2) RP：20l/min (可选) |
| 压力测量 | 皮拉尼真空计/电离真空计(可选) |
| 尺寸・重量 |
本体： W600/D400/H950mm 约75kg(RP其他位置) ※本体/控制板の高度和重量是根据结构变动的。 |
| 所需电源 | 单相100V 50/60Hz 5kVA |
可选
※除以上内容，根据需求会增加选项。
- 束扫描
- 电阻加热源单元
- 基板加热装置(300℃/600℃型)
- 基板冷却装置
- 基板旋转倾斜单元
- SUS钟罩
- 电离真空计
- 皮拉尼真空计
- 石英振荡器型膜厚监控器
- 引入气体
- 外部引进终端
