阻抗加热型 SVC-700（DP型）
显微镜
| 概要 |
|---|
传统的沉积设备：DP型
●特征・概要
- 真空沉积基本卡住的基本模式
- 包装的最小必须功能作为沉积装置
- DP型通过在阀门开关OPEN/CLOSE操作方便，
- 富的可选，保证了扩展性的丰富
●用途・适用例
- 贴电极膜的各种装置
- 反光膜的制作用途(用于铝蒸镀等)
- 用于样品制备的电子显微镜
- 用于生产碳支撑膜等
| 规格 |
|---|
| 蒸镀方式 | 阻抗加热方式 |
| 蒸镀电源 | 12V50A / 7V80A (切換式) |
| 蒸镀用电极 | 2組 |
| 排気系 |
DP: 200L/sec RP: 20L/min TMP: 67L/sec(@N2) RP: 20L/min (可选) |
| 极限压力 | 10-4Pa 台 |
| 钟罩 | 内径φ160mm×H225mm (玻璃制・带保护罩属) |
| 尺寸 (W/D/H) | 600/400/800mm |
| 重量 | 约 40kg |
| 所需电源 | 单相100V 50/60Hz 10A (3P插头) |
| 冷却水 | 2L/min 20℃±5℃ 0.2MPa × 1系統 |
可选
- 电离真空计
- 皮拉尼真空计
- 石英振荡器型膜厚监控器
- 基板加热装置（300℃/600℃型）
- 基板冷却装置
- 基板旋转倾斜单元
- 闪光功率积碳
- EB蒸镀装置（单枪）
- 有机物蒸镀用电源
- φ160mm 不锈钢制钟罩
- φ230mm 不锈钢制钟罩
- 引入气体ユニット
- 外部引进终端
- 液态氮陷阱(排气用)
