阻抗加热型 SVC-700TMSG/7PS80（TMP型）
显微镜
| 概要 |
|---|
具有TMP功能的小型装置
●特征・概要
- 简单，容易操作
- “在必须的时候只有你所需要的”=真空沉积设备已考虑到即便是未来增强
- 可选的丰富使薄膜制造实验的范围更加广泛
- 通过专用可选，也支持有机物薄膜制备实验
- 可以向我们咨询安装在手套箱事宜
- 小巧的机身支持“个人实验腔”的概念！！
●用途・实用例
- 电极用途等各种金属材料的蒸镀
- 有机物蒸镀实验（必须选择专用)
- 手套箱内的Li等的蒸镀
- 真空実験
| 规格 |
|---|
| 蒸镀方式 | 阻抗加热方式 |
| 蒸镀电源 | 12V45A / 7V80A (切換式) |
| 蒸镀用电极 | 2組 |
| 排气系统 |
TMP: 67l/sec (@N2) RP: 20l/min 带真空保持单元 |
| 极限压力 | 2×10‐4Pa |
| 钟罩 | 内径φ160mm×H215mm (玻璃制・带保护罩属) |
| 尺寸 (W/D/H) |
SVC-700TMSG (真空排气装置): 340/460/577mm SVC-7PS80 (蒸镀用电源): 340/410/206mm |
| 重量 |
SVC-700TMSG (真空排气装置): 约26kg SVC-7PS80 (蒸镀用电源): 约25kg |
| 所需电源 | 单相100V 50/60Hz 15A 3P插头 |
可选
- 有机物用蒸镀电源
- 皮拉尼真空计
- EB蒸镀装置(单枪)
- 石英振荡器型膜厚监控器
- 闪光功率积碳
- 大型玻璃钟罩 (φ230mm)
- 基板加热装置 (300 ℃ / 600 ℃)
- SUS钟罩 (φ160mm / φ230mm)
- 基板旋转倾斜单元
- 引入气体
- 电离真空计
- 外部引进终端
