用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置 SC-708 Series
显微镜
| 概要 |
|---|
最适合于大型基板的薄膜制造和PDMS表面处理
●特征・概要
- 适用于大基板的整个表面上涂覆离子溅射装置
- 溅射靶，4'/ 5'/6'/7'/ 8“，并提供了由1英寸单元分离的尺寸
- 制成，当然溅射薄膜，还支持在微流路的时间形成的PDMS表面处理
- 装备有涂层模式/蚀刻模式
●用途・适用例
- 贴电极膜的各种装置
- 反光膜的制作用途
- 样品表面亲水性处理应用程序（蚀刻模式）
- PDMS表面处理的应用程序（蚀刻模式）等。
| 规格 |
|---|
| 阴极 | φ4～8英寸 / 2极对向电极 |
|
溅射环电流 腐蚀电流 |
0～50mA (配电流计) |
|
溅射环电压 腐蚀电压 |
0.8 / 1.4kV |
| 气体导入机构 | 针型阀 |
| 真空泵 | 直连式回转泵:100l/min(具有自动泄漏) |
| 腔体尺寸 | 内径φ240mm×D240mm(不锈钢制) |
| 样品交换方法 | 前门开关式 |
| 样本尺寸 | Max.φ4 ～8英寸 |
| 尺寸 (W/D/H) |
本体:282/450/440mm RP:460/175/265mm |
| 重量 |
本体:约20kg RP:23kg |
