用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置 SC-701HMCⅡ
显微镜
| 概要 |
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适用于钨/钛/铬薄膜制造的磁控管类型。具有微电脑控制/自动快门的标准配置
●特征・概要
- W（钨）/ Ni（镍）/ Cr（铬）/ Ti（钛）等制膜的DC溅射装置。
- 采用磁控阴极
- 装有微电脑，制膜工艺可以高精度控制
- 全自动/手动操作方法2种模式
- 配备了自动卷帘装置
●用途・适用例
- W/Ni/Cr/Ti 等の成膜
- 燃料電池用基礎実験
| 规格 |
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| 阴极 | φ2英寸 磁控阴极 |
| 快门机构 | 自动/手动操作 |
| 气体导入机构 | 针型阀 （自动/手动控制） |
| 真空泵 | 直连式回转泵:100l/min（具有自动泄漏） |
| 腔体尺寸 | 内径φ160mm×D160mm (不锈钢制) |
| 样品交换方法 | 前门开关式 |
| 尺寸 (W/D/H) |
本体:360/360/260mm RP:174/460/264mm |
| 重量 |
本体:20kg RP:23kg |
