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用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置 SC-701MC

显微镜

概要  

只需要将样品放置,膜厚度可以设定全自动模式
●特征・概要                     

  • 采用了降低离子损伤磁控管阴极
  • 全自动排气→涂装→大气敞开
  • 磁控阴极,有助于高品质的创造溅射薄膜
  • 溅射薄膜的电极,可以很容易地涂



●用途・适用例

  • 贴电极膜的各种装置
  • 用于反光膜制作等等。

 

 

 

规格  
阴极 φ2 英寸DC磁控/2极对向电极
目标 Au 附属目标
厚度设置方法 预设方式/带数字显示厚度监视器
气体导入机构 针型阀
真空泵 直连式回转泵:20l/min(具有自动泄漏)
排気操作 自動
腔体尺寸 内径φ120mm×D120mm(不锈钢制)
样品交换方法 前门开关式
尺寸(W/D/H) 本体:225/420/320mm
RP:300/160/200mm
重量 本体:15kg
RP:9kg

 

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