用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置 SC-701MC
显微镜
概要 |
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只需要将样品放置,膜厚度可以设定全自动模式
●特征・概要
- 采用了降低离子损伤磁控管阴极
- 全自动排气→涂装→大气敞开
- 磁控阴极,有助于高品质的创造溅射薄膜
- 溅射薄膜的电极,可以很容易地涂
●用途・适用例
- 贴电极膜的各种装置
- 用于反光膜制作等等。
规格 |
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阴极 | φ2 英寸DC磁控/2极对向电极 |
目标 | Au 附属目标 |
厚度设置方法 | 预设方式/带数字显示厚度监视器 |
气体导入机构 | 针型阀 |
真空泵 | 直连式回转泵:20l/min(具有自动泄漏) |
排気操作 | 自動 |
腔体尺寸 | 内径φ120mm×D120mm(不锈钢制) |
样品交换方法 | 前门开关式 |
尺寸(W/D/H) |
本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 |
本体:15kg RP:9kg |