用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置 SC-701AT
显微镜
| 概要 |
|---|
只需要将样品放置，膜厚度可以设定全自动溅射
●特征・概要
- 全自动排气→涂层（蚀刻）→大气敞开
- 超小型，膜的厚度可以简易控制（简易型）
- 操作简单，高重复性的全自动化溅射设备
- 涂料/蚀刻模式配备
●用途・使用例
- 各种设备的电极膜
- 反射薄膜制造应用等
| 规格 |
|---|
| 阴极 | φ2 英寸/2极对向电极 |
| 溅射目标 | Au 附属目标 |
| エッチング目标 | Al 附属目标 |
| 厚度设置方法 | 预设方式/带数字显示厚度监视器 |
| 气体导入机构 | 针型阀 |
| 真空泵 | 直连式回转泵:20l/min(具有自动泄漏) |
| 排気操作 | 自動 |
| 腔体尺寸 | 内径φ120mm×D120mm(不锈钢制) |
| 样品交换方法 | 前门开关式 |
| 尺寸(W/D/H) |
本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 |
本体:15kg RP:9kg |
