用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置 SC-701MkⅡ
显微镜
| 概要 |
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系列中最小的溅射电极可以容易地生产薄膜
●特征・概要
- 系列中最小的DC溅射类的超小型
- 能简单方便地制作电极薄膜溅射小型装置
- 标准间歇溅射功能
- 在专用试验台或桌面上，可以容易地改变T-S间的距离
●用途・适用例
- 与各种设备的电极膜
- 反射薄膜制造应用等
| 规格 |
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| 阴极 | φ2 英寸/平板型电极 |
| 溅射目标 | Au 附属目标 |
| 气体导入机构 | 针型阀 |
| 间歇功能 | 标准搭載 |
| 真空泵 | 直连式回转泵:20l/min(具有自动泄漏) |
| 腔体尺寸 | 内径φ90mm×D90mm(不锈钢制) |
| 样品交换方法 | 前门开关式 |
| 尺寸 (W/D/H) | 本体:160/326/286mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本体:10kg RP:9kg |
