用于制造导电性薄膜的超小型溅射装置 SC-701MkⅡ ADVANCE
显微镜
| 概要 |
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对应Ni、Cr、W、Ti、Al等宽的金属支持高规格的小型涂布机
●特征・概要
- DC溅射系列中最小的超小型
- 并配有真空计，保证的沉积条件的再现
- 手动卷帘可以安装（可选）
- 在专用试验台和桌面上，可以简单地改变T-S间的距离
- 钨外套是可能的，也可以访问样品制备高分辨率SEM
●用途・使用例
- 与各种设备的电极膜
- 反射薄膜制造应用等
| 规格 |
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| 阴极 | φ2英寸DC磁控/板型电极 |
| 可能的适用对象 | Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al |
| 压力测量 | 皮拉尼真空计 |
| 压力控制 |
手动控制通过由针阀 导入口径外径φ6mm一触式管接头 |
| 工艺气体 | Ar气体 |
| 真空泵 | 直连式回转泵： 20L/min(具有自动泄漏) |
| 腔体尺寸 | 内径φ90×D90mm (不锈钢制) |
| 样品交换方法 | 前门开关式 |
| 尺寸(W/D/H) | 本体：160/450/290mm RP： 295.5/156/199.5mm |
| 重量 | 本体：9㎏ RP：9㎏ |
