SVC-700RFⅠ
显微镜
| 概要 |
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具有DC〜200kHz高速响应和高分辨率序列功能的四象限双极电源
●特征・概要
- 超小型的台式尺寸
- 操作简单
- 最适用于金属薄膜为好，理想的绝缘膜和氧化物薄膜制成
- 小型而充实的设备和可选组
| 规格 |
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| 溅射阴极 |
水冷式磁控 φ2英寸×1源 |
| 溅射方向 | 向下 |
| RF电源 |
200W 13.56MHz 带手动匹配BOX |
| 腔内部分 |
φ160mm×H311mm(包括供电部分) 不锈钢制 视口/带水冷管 |
| 真空泵 |
DP：200l/sec RP：20l/min TMP：67l/sec(@N2) RP：20l/min (可选) |
| 极限压力 | 7×10-4 Pa以下 |
| 压力测量 | 皮拉尼真空计 |
| 气体导入机构 | 质量流量控制器 Ar：30sccm |
| 尺寸・重量(本体) |
W787/D400/H859mm 约80kg ※高度和重量是根据结构变动的。 |
| 所需电源 | 单相100V 50/60Hz 15A |
可选
- 基板加热装置（300℃/600℃/1000℃型）
- 基板冷却装置
- 基板旋转倾斜单元
- 电离真空计
- 石英振荡器型膜厚监控器
- 气体导入机构追加
※除以上内容，根据需求会增加选项。
